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用于准分子激光光束整形的衍射光学元件设计方法

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种用于准分子激光光束整形的衍射光学元件设计方法，该方法包括下列步骤：测量入射到衍射光学元件的光束的空间相干长度L；计算衍射光学元件中位相单元的尺寸l；依据入射到衍射光学元件的光束的空间相干长度L，确定衍射光学元件中一个设计单元的周期d；等间隔采样所需远场光强分布，并计算远场振幅分布矩阵Aout；计算设计所需的入射光振幅分布矩阵Ain；采用盖师贝格-撒克斯通算法设计一个设计单元的位相分布矩...
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