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投影光刻机照明装置和使用方法

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种投影光刻机的照明装置及使用方法，包括激光源，沿激光源输出光束方向依次是：扩束器、微镜阵列、快速反射镜、光阑阵列、微透镜阵列、照明镜组和反射镜，所述的微镜阵列的控制系统包括第一计算机和微镜阵列控制器，所述的快速反射镜的控制系统包括第二计算机和快速反射镜控制器，第一计算机通过微镜阵列控制器控制微镜阵列上各个微镜单元进行二维转动，使扩束后光束经过微镜阵列、快速反射镜反射后在光阑阵列上形成光刻...
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