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材料表面成分辉光逐层分析中激光参比实时深度检测新方法研究

2015年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
辉光放电光谱仪最重要的应用是对材料表面进行逐层定量分析，近年来被广泛应用于涂镀层、彩涂板、超硬涂层等表面分析检测领域。一直以来，如何在成分分析的同时获得准确的溅射深度信息，是实现表面成分沿深度分析需要解决的关键问题。目前，传统辉光分析方法中溅射深度是通过样品中各元素的密度推算得出的，属于间接推断式的准实时深度分析，在成分交界处、有机镀层样品分析中易产生较大误差。
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