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波长扫描Fabry-Perot干涉仪用于亚纳米位移在线测量的研究

2004年

基础理论

成果简介

　　本研究设计了一个波长扫描干涉式位移测量方案，利用宽带光源，做成一个范围为40毫米的扫描光源，以两个F-P（Fabry-Perot）干涉仪作为核心部件，形成了测量系统，系统中一个F-P干涉仪作为参考干涉仪，另一个作为检测干涉仪，这样充分利用了F-P干涉仪高灵敏度和高分辨率，而最大限度地消除了环境噪声的干扰；利用FMCW技术和外差干涉技术，使光源扫描频率达到了300KHz，比现行波长扫描式位移测量...

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