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一种双层微测辐射热计及其制作方法

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种双层微测辐射热计，包括微桥结构，该微桥结构由上桥面和下桥面两个独立的桥面所组成，所述上桥面设有一层或多层光吸收材料，下桥面包含支撑与绝缘层、金属电极、热敏电阻薄膜、钝化及调控层，下桥面与衬底之间形成下层光学谐振腔，上桥面及下桥面之间形成上层光学谐振腔，其特征在于，上桥面和下桥面之间由两根连接柱相连接，且下桥面的表面设置有一层由金属构成的热量传输层。这种双层微桥一方面具有较高...
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