电子级三氟化氮的产业化开发

研究起止时间：

2015.01至2017.12

成果评价单位：

河南省科技厅

成果推荐单位：

中国昊华化工（集团）总公司

成果简要说明：

三氟化氮作为优良的等离子蚀刻气体和反应腔的清洗剂，在半导体芯片、液晶显示器、光纤领域的需求量保持快速增长的趋势。为提高黎明院三氟化贫产品的竞争力，解决目前存在生规模小、产品稳定性不足、工艺连续性有待提高的问题，我院开展电子级三氟化氮产业化发项目，主要研究内容：化学合成工艺优化、电子气体深度纯化和净化技术、分析检测技术、安全及环境技术。

项目通过关键研发，在槽结构设计、电解合成低氟化物有效控制、低温精馏、钢瓶处理与洁净灌装技术、三废处理等方面实现技术革新，按期顺利完成1000a/t年三氟化氮装置产业化建设和100a/t三氟化氮中试科研装置建设。

研究所处阶段：

成熟应用阶段

成果转让范围：

成果评价方式：

验收

成果完成人：

牛学坤，张景利，魏磊，汪建春，杨亚琴，李梅，赵纪峥，黄晓磊，王娟，高英武，张绪锐，周宪峰，酒坤，付梦月，王亚平

联系方式

名称：

黎明化工研究设计院有限责任公司

地址：

河南省洛阳市王城大道69号黎明化工研究设计院

邮编：

471000

电话：

0379-62301577