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基于偶氮聚合物光场吸收调制的超分辨微加工技术基础研究

2015年 基础理论
  • 成果简介
项目通过对光场与偶氮聚合物材料作用过程的研究和分析，阐明AMOL技术中偶氮聚合物光吸收调制的机理，探索提高加工精度的方法。在此基础上，采用无掩膜加工技术开展基于光吸收调制原理的超分辨宽场加工方法的研究。项目执行过程中，开展的主要研究内容包括：
（1）建立了光场吸收调制效应的标量和矢量模型，开展偶氮聚合物光场吸收调制机理的理论和实验研究。分析光场参数对吸收调制效应的影响，...
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