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表面传导场发射电子源导电膜的结构

2014年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种表面传导场发射电子源导电膜的结构,即电子源的导电膜由氧化钯(PdO)膜与非晶碳膜形成的多层复合膜构成,利用氧化钯膜具有的良好的电子发射稳定性及非晶碳膜具有的较低的有效功函数、大的载流子迁移率、高的击穿电压、宽的禁带宽度及高的热传导系数,以改进导电膜的电子发射性能,从而提高场发射电子源的发射电流密度及电子发射率。...
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