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一种在锆表面渗镀铂薄膜的方法

2014年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种在锆表面渗镀铂薄膜的方法，其方法为：将经预处理后的锆工件置入带有加热装置的真空离子镀膜机，预抽真空至1×10-3Pa，加热工件至500℃～800℃，保温一定时间，通入氩气，调节真空度至1～9×10-1Pa，对工件加载负偏压800～2000V，开启装有铂溅射靶的溅射源；调节负偏压至100～500V，再沉积一定时间，关闭溅射源，直到锆工件温度低于100℃后取出。本发明通过控制镀...
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