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纳米级三维探针台

2015年 应用技术
  • 成果简介
  项目概述
  纳米级三维探针台由压电马达驱动,包含传感器、驱动器和控制器等部件,是精密仪器运动控制系统的核心部分,其压电马达具有高分辨率、小尺寸、低能耗、稳定性高、无返程空回等特点。其运动控制部分采用驱控一体的压电专用控制器,使系统不仅更简洁、更灵活,还具有更好的实时性。
  应用范围
  本项目产品主要应用于电子、光伏、材料、医疗等行业的测试和微纳米操作。...
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