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M56700-1/UM型SiC高温高能离子注入机

2017年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
  本项目“M56700-1/UM型SiC高温高能离子注入机”,是科技部国家高技术研究发展计划(863计划)项目——《面向高压电力电子器件的大尺寸SiC材料与器件的制造设备与工艺技术研究》的子课题,由中国电子科技集团公司第四十八研究所独立研发,研究起始时间为:2014年1月至2016年5月。通过对SiC材料离子注入工艺的特殊性进行研究,开发出适用于SiC材料的高温高能离子注入机,并在成熟的器件生产...
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