首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

DJW-2436-4CD磁控溅射镀膜设备

2017年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　本项目的目的是为了克服现有技术存在的不足，提供了降低成本且能镀多钟膜的多功能磁控溅射自动镀膜生产线，包括依次连接的上片架、前清洗机、进片过渡架、进片预抽室、进片过渡室、进片缓冲室真空镀膜装置、出片缓冲室、出片过渡室、出片预抽室、出片架、平移架。真空室的抽气系统用高性能的分子泵作为精抽主泵，使设备可在绿色环保的状态下镀出高质量的工件。配置两套多角镀旋转的旋转台，可使设备适合安装在多种规格的厂房。...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统