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高纯金属镱靶材制备关键技术研究

2017年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　该项目为包头稀土研究院产业化项目。
　　国内生产的高纯金属镱靶材大多采用真空熔炼、浇铸、机械加工等工艺流程制备。产品晶粒普遍粗大，致密度不高，晶粒尺寸及分布均匀性较差，导致溅射得到的金属膜元器件性能差异过大，难以满足大功率、小型化、集成化电子器件对薄膜元器件精密性、可靠性、稳定性和长寿命使用要求。
　　本项目采用真空烧结方式制备高纯金属镱靶材。开展原料净化除杂、烧结工艺...
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