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纳米标准物质/标准样品制备过程中的调控规律和计量定值

2017年

基础理论

成果简介

　　（1）通过标准装置建立，测量方法与不确定度分析，以及标准物质定值的研究，建立了完整的纳米测长溯源体系、纳米膜厚测量溯源体系，解决了原子力显微镜，扫描电镜、台阶仪、椭偏仪等纳米测量仪器横向与纵向长度测量的校准与溯源，填补国内空白。通过国际比对获得国际等效一致的测量结果，通过标准物质量传值实验室测量设备，为国内量值统一提供了保证。例如：为半导体产业代表企业中芯国际提供测量服务，支持集成电路产业...

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