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星形嵌段共聚物的合成、自组装及化学刻蚀

2004年 基础理论
  • 成果简介
  对嵌段共聚物进行分子设计,将不同性质和分子量的聚合物,以某特定方式键连在一个大分子上,制成多种多样的嵌段共聚物。将嵌段共聚物溶液中的溶剂缓慢挥发,或在熔融状态下缓慢冷却,自组装成不同结构的纳米材料,这是当今化学家和物理学家共同感兴趣的理论课题。
  在应用方面,半导体工业上,广泛使用的光刻方法,由于受紫外光波长的限制,提高集成度己十分困难。寻找更有效的方法以提高集成度已成为当前研究...
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