项目涉及电子级三氟化氮、六氟化硫和四氟化碳的生产技术，属于精细化学品领域。
　　含氟电子特种气体作为新型信息用气体材料，是光电子、微电子等领域，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、薄膜太阳能电池、光纤产业、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑原材料，同时也是特高压交流输变电成套装备技术、特高压直流输变电成套、智能电网输配电成套装备技术等电器电工技术研发领域良好的绝缘保护气体。
　　项目实施过程中，主要开展了如下工艺技术研究：
　　1、开展了三氟化氮、六氟化硫、四氟化碳等反应过程的工程放大技术研究。解决放大过程温度、电解电流、原料配比等参数对反应速率、产物收率、粗产品浓度含量的影响，确定电槽、反应器最佳结构形式和主要性能参数。
　　2、开展了多级纯化净化单元的系统集成技术研究。解决工程放大对各单元脱除有害杂质的提纯净化深度的影响，优化各纯化单元配置和全过程控制参数。
　　3、开展了电子气体痕量杂质的定性定量分析检验方法研究。解决了目标气体在线和产品分析检测方法和关键技术，提出各种杂质成分在线和产品检测的具体方案，完成分析系统的配备。
　　4、开展了三废处理及回收技术研究。对生产过程中产生的含氟废气、废水和废渣进行深入研究，确定环保、经济的三废处理和回收再利用工艺。采用综合利用技术，对互为杂质的氟化物进行优化利用，既可达到对三废的绿色环保排放，又可以实现回收再利用。
　　本项目实施过程中，共申报国家专利8项，已获授权4项。
　　本项目在完成电化学合成技术、深度纯化和净化技术、分析检测技术、安全及环境保护技术研究的基础上，完善和建立了3条特种含氟电子气体生产线。技术指标达到国外同类产品同期先进水平，形成400吨/年电子级三氟化氮（99.99％）、800吨/年电子级六氟化硫（99.999％）、200吨/年四氟化碳（99.999%）的生产能力。2011年下半年销售产品650余吨，销售额达到7000万，利润2000万，其中出口482吨，创汇453万美元。预计项目产业化全面实施后可实现年产值1.8亿元，利润6500万元，利税4000万元。其中高纯度的电子级三氟化氮、六氟化硫和四氟化碳作为在未来几年内薄膜太阳能行业、液晶显示屏及高压设备等相关行业中使用的主流清洗、蚀刻和绝缘气体，需求将会出现大幅上升趋势。
　　项目的实施，完善了黎明化工研究院特种含氟电子气体的产品结构，使之成为国内外知名的可同时开展多品种特种含氟电子气体生产的厂家，提高了国内该领域的技术水平，增加了行业竞争力。目前生产的电子级三氟化氮、六氟化硫和四氟化碳产品满足了国内客户的需求，占据了国内30%左右市场份额，此外纯度和各项指标已经达到国际先进水平，取得了国际上知名气体公司和使用客户的认可，并抓住了有利时机，创建了国内特种含氟气体的自主品牌，跻身国际级气体供应商行列。
　　

牛学坤、张景利、黄晓磊、赵继峥、汪建春、张金彪、魏磊、王娟、赵国辉、徐洪涛