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四氯化硅制备三氯氢硅新工艺研究

2014年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
1、来源与背景
课题来源：邢台市2012年科技支撑计划项目，课题编号：2012zc139。
四氯化硅是多晶硅行业主要副产品，排放量大，处理难，环境污染较大。目前,处理四氯化硅最有效的方法是将其加氢还原生成生产多晶硅的原料三氯氢硅，本项目旨在用直流放电等离子体法还原四氯化硅生产三氯氢硅。根据通过自制的四氯化硅的还原三氯氢硅的反应器进行试验确定氢气和四氯...
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