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与靶平行的衬底对PLD制备纳米Si晶粒成核区位置的影响

2014年

基础理论

成果简介

“与靶平行的衬底对PLD制备纳米Si晶粒成核区位置的影响”系河北省自然科学基金资助项目（项目编号：E2011201134）。
采用脉冲激光烧蚀技术制备纳米Si晶粒是目前的一个研究热点。纳米Si晶粒具有明显的量子发光效应,并且发光的波长随Si纳米晶粒的尺寸变化。而如何得到晶粒尺寸一致、密度分布均匀的高质量薄膜是当前面临的阻碍实用化的一大关键,这与PLA动力学过程的理解和认...

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