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新型电-化学微电子清洗技术与清洗剂的研究

2014年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
针对极大规模集成电路制备过程中CMP加工后晶圆表面的有机物、颗粒、金属离子等污染物进行新型清洗技术及清洗液的研究，主要研究：
1. 金刚石膜电极电化学氧化有机物机理理论，金属离子螯合机理研究，粒子优先吸附机理模型；
2. 电-化学方法氧化液、活性剂以及金属离子螯合剂的制备及性能优化；
3. 电-化学清洗技术针对有机物、颗粒及金属离...
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