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微小孔径金刚石涂层拉丝模装置

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本实用新型公开了微小孔径金刚石涂层拉丝模装置，包括化学气相沉积反应室，该化学气相沉积反应室的上端设置有排气通道，同时在其下端还设置有进气装置，在化学气相沉积反应室的内部还设置有拉丝主体，该拉丝主体上还连接有电源；拉丝主体包括拉丝模、设置于拉丝模下端的耐高温支撑装置，在该拉丝模的上下两端与其相差3mm～5mm的位置还分别设置有上加热丝与下加热丝，上加热丝与下加热丝的两端分别连接有一号电极与二...
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