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激光技术制备功能薄膜

2004年

基础理论

成果简介

本项目创造性地提出一种新的成膜技术，首次在室温下采用LB膜与激光技术制备金刚石、类金刚石薄膜，研究薄膜的生长和结构特性，探索它们之间相互转化的条件。本项目不同于CVD方法，CVD方法中碳来自有机分子气体分解，需要较高的能量和高的衬底温度。本项目克服了上述缺点。预先尽可能多地以LB多层膜地形式使大量地碳氢以分子近邻附着到衬底表面。在激光辐照下，碳原子只需要最小地结构变化即可形成新的金刚石结构...

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