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一种MEMS设计优化方法

2014年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种新的MEMS设计优化方法，属于MEMS CAD技术领域。该方法在给定MEMS
器件结构及其待考察性能指标和优化变量的条件下，基于单元库构建MEMS新器件的系统模
型，在试验设计的基础上对系统模型进行计算机仿真试验，通过对仿真试验结果进行回归分
析建立待考察性能指标和优化变量之间的函数关系，基于该函数关系写出优化目标和约束条
件的数学表...
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