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多晶硅生产中副产物DCS的综合处理技术

2014年

应用技术

中期阶段

成果简介

多晶硅生产中副产物DCS的综合处理技术涉及一种全新的高产率、低成本三氯氢硅合成的工艺和设备，DCS即二氯二氢硅（SiH2Cl2）的缩写。本项目是利用二氯二氢硅（SiH2Cl2）、四氯化硅（SiCl4）回床技术，将传统三氯氢硅合成工艺中副产物回收利用，降低副产物的处理成本，提高三氯氢硅合成的转化率。
二氯二氢硅是多晶硅生产的主要副产物，传统技术中通过水解或外排处理，既增加...

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