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等离子体浸没注入机

2014年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　1、课题来源与背景
　　本课题为国家自然科学基金科学仪器基础研究项目支持，项目完成后继续进行研究开发，获中国科学院知识创新工程重要方向项目、国家科技重大专项项目支持。
　　集成电路技术是电子信息产业的基础，而集成电路制造装备的研究则是集成电路技术的基础。等离子体掺杂注入技术是一种全新原理的超浅结形成技术，它的特点在于进行低能注入时可以保证高的注入剂量和高产能。这对于特征...
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