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集成电路制造装备标准化集束式控制与整机检测平台

2014年

应用技术

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成果简介

　　本项目针对“国家极大规模集成电路(IC)制造装备和成套工艺研发”的重大应用需求，研发并实现了面向标准化高端IC制造装备的集束式控制平台与整机装备功能工艺检测平台。作为国内第一套具有自主知识产权的高端IC装备标准化集束式控制平台，实现了国际标准化生产大线对于国产IC装备高稳定性、高可靠性、高效性和高良率的控制需求，同时为国内装备研发制造企业提供一个满足国际SEMI标准的、开放的、可定制的通用集束...

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