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电子级多晶硅产业化研究及应用

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
项目利用产学研模式与高校开展联合技术攻关，采用差压耦合精馏、氢气回收净化、高压脉冲破碎、反歧化精馏等技术，开发出符合电子级标准的多晶硅材料，形成了年产1500吨电子级多晶硅生产线。项目采用的技术方法与路线合理，数据、资料可靠，分析论证科学，难度大、规模和工作量很大。
本项目的关键技术和创新点为：项目在电子级多晶硅规模化生产中采用改良西门子法工艺，利用差压耦合精馏、反应歧...
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