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在腐蚀过程中保护微机械器件金属连线的密封方法

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种在腐蚀过程中保护微电子机械系统器件金属连线的密封方法，其步骤如下：
1.将重量比为1∶0.4～0.6∶0.05～0.08的环氧树脂E-51＜SUP＞#＜/SUP＞、邻苯二甲酸二丁酯、偶联剂KH-550混合搅拌；在以上混合物中加入质量为环氧树脂E-51＜SUP＞#＜/SUP＞的1～1.2倍的聚酰胺200＜SUP＞#＜/SUP＞，与以上混合物搅拌均匀；
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