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制备多层金属镀层复合膜的装置及其制造工艺

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明涉及一种多层金属镀层复合膜的装置及制造工艺，包括电源，真空蒸发室，真空蒸发室内置有金属材料，真空蒸发室内同时设有至少有两个或两个以上蒸发源，在各自的蒸发源中放置不同的蒸发材料，按蒸发时序进行蒸发。其工艺流程为：a、用真空泵对真空蒸发室进行抽真空；b、对真空蒸发室内的蒸发源通电、并低温预热蒸发材料；c、将低温预热好的蒸发材料用高温使蒸发材料蒸发进行镀膜；d、第一材料蒸发形成第一层镀膜，...
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