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容器内表面化学气相沉积涂层方法

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种容器内表面化学气相沉积涂层方法,该方法可以解决只有一个开口的
容器,或者单向多个开口容器,或者有两个开口但其夹角小于90°、或者两个开口未开在沿
容器最长方向两端的容器内表面涂层的制备。利用容器开口(2)连接一进气管(3),向容器
(1)内插入一根导流管(4),导流管内口(4a)插到容器最长方向的顶端,作为尾气排出通
道,反应...
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