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二氧化硅薄膜性能测试与改进

2013年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本课题结合企业委托，针对二氧化硅薄膜的性能及载流子浓度，杂质比例等对信号参数的影响开展研究，本课题采用数值分析的方法，对各种参数进行合理设计，提出了优化的二氧化硅数值计算模型，通过数值模拟，分析了载流子浓度，杂质成分，样品温度等参数对信号传输的影响程度，数值分析结果与实验测试结果很好吻合，通过合理调整参数，可以极大提高信号的稳定性，达到企业提出的设计要求。
本课题的研究...
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