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1053纳米波段的金属介质膜反射式偏振分束光栅

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种1053纳米波段的金属介质膜偏振分束光栅，特点在于其是在石英基底上依次镀制的银层、高反射膜层和矩形光栅构成，该矩形光栅的周期为680.6纳米，占空比为0.2，光栅刻蚀深度为374～476纳米，银层厚度为100纳米，高反射膜层的中间层为高折射率层，内层外层为低折射率层。本发明反射式金属介质膜偏振分束光栅，具有很高的消光比和衍射效率，较宽的带宽和角宽，可以用于高功率激光系统，起到很好的偏振...
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