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蚀刻液循环再生利用系统

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
1、采用无损分离工艺回收铜，不破坏蚀刻液原有的组成成份，使蚀刻液得以完全回用，使蚀刻生产线成为废物零排放的清洁生产线；
2、电解过程中产生的氯气通过射流装置进行吸收，一方面可以用来提高再生液的ORP，另一方面可以直接用来提高蚀刻工序蚀刻液的ORP，从而达到彻底取消其他氧化剂的效果；
3、工艺流程实现过程物料闭路循环，使蚀刻液得以回用的同时不产生新的污...
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