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籽晶层辅助的高性能TiO2基透明导电薄膜及制备方法

2013年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明提供一种TiO2基透明导电膜,所述导电膜包括:衬底层,所述衬底为普通玻璃、石英玻璃、陶瓷基板、SrTiO3(STO)或LaAlO3(LAO)衬底;籽晶层,所述籽晶层为具有锐钛矿结构的TiO2籽晶层或具有锐钛矿结构的掺杂TiO2籽晶层;所述籽晶层的厚度为20nm~250nm;在所述籽晶层上利用该籽晶层诱导生长的掺杂TiO2覆盖层;所述覆盖层中掺杂元素总量为Ti元素的0.25mol%~2...
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