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一种坩埚下降法单晶生长炉及其应用

2013年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种坩埚下降法单晶生长炉，包括设有密闭腔体的炉体、坩埚和垂直移动机构，所述炉体的炉底板以及炉底板内侧的保温层上开有中心孔，中心孔与密闭腔体贯通，所述垂直移动机构穿过中心孔并沿炉体的中心轴上下移动；所述垂直移动机构与炉体密闭连接时，其伸入密闭腔体的一端位于密闭腔体的上端并与坩埚连接固定。采用本发明的坩埚下降法单晶生长炉，可有效避免坩埚进出料时对保温层和发热体的触动，消除炉体的温场...
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