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基于激光微纳加工的MEMS零部件低成本批量制造关键技术及其应用

2013年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

产品微型化和微机电系统（MEMS）的快速发展对微细加工技术提出更高要求，现有微细加工技术如化学刻蚀、电化学微加工等，由于平面几何映射特性的影响，只能用于加工平面的、结构比较简单的微器件。能制作三维微结构的LIGA技术，需要制作掩模，加工时间长、工艺过程复杂、价格昂贵。聚焦离子/电子束加工技术则需要在真空环境中进行，不仅设备成本高，而且应用范围受限。
激光微纳加工技术是近...

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