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微量掺锗直拉硅单晶的制备、性能及应用

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
直拉硅单晶是半导体产业的基础材料，主要用于制备微电子和光伏发电器件，全球约90%的微电子器件都是利用硅单晶制备的。因此，直拉硅单晶的研究和开发对国民经济、科技和国防等领域具有举足轻重的作用。
本项目自2000年以来，在国家杰出青年基金、国家自然科学基金重点项目和国家重大科技专项等项目的支持下，取得了系列的创新研究成果：
（1）提出了微量掺锗控制直拉硅...
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