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高效能24对棒多晶硅还原炉

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
我研制的高效能24对棒多晶硅还原炉主要技术创新内容、特点及应用推广情况：
（1） 我公司发明了高压启动方式，避免了原有卤素灯启动操作技术带来的的高温危险，革命性的改变了多晶硅的生产，使生产周期大幅度的缩短，保证了整个模块的产量，目前这一技术在全球整个行业内得到了一致的认可和推广。
（2） 采用了PLC自动控制的多晶硅还原炉进气系统，是进气控制更加准确...
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