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PD-380系列管式等离子体增强化学气相淀积设备（PECVD）

2013年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备是一种半导体工艺装备，主要用于晶体硅太阳能电池片研制、生产中的减反射膜的制备。是晶体硅太阳能电池片制造中最关键的工艺装备之一。
该装备采用温度串级控制技术，消除了温度传感器与空间温度变化的滞后或超前性，真正实现了以工艺片真实需求的温度进行跟踪、调节，精确控制的恒温效果；自主创新的工艺气体输送法兰，使工艺气体混合更加充分，在反应室...

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