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利用脉石英制备高纯超细硅微粉的方法

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
高纯超细硅微粉主要用于大规模集成电路和超大规模集成电路塑封料。等目前我国的高纯超细硅微粉完全依靠进口欧美产品，因此开发自主知识产权的高纯超细硅微粉生产工艺技术及设备是我国刻不容缓的课题任务之一。利用含铝量低的脉石英矿石为原料，通过选料、洗涤、破碎、煅烧、水淬、制砂、磁选、分级、热酸液动态酸洗提纯除杂，使其纯度不低于4N，再把其用高纯石英玻璃微珠研磨成0.5～5微米的微粒。最后干燥即可得到纯...
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