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一种单晶随炉等温退火工装

2013年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
1.技术领域
本发明属于单晶制备技术领域，特别是涉及一种物理气相传输法单晶生长结束后的退火方法及工装。
2.背景技术
物理气相传输法单晶生长时，要求有一定的温度梯度作为结晶驱动力，但是生长结束之后降温退火时，如果还是保持上述温度梯度，就容易在单晶内部产生热应力，严重时会导致单晶出现裂纹。另外，即使得到的单晶没有宏观应力开裂，另行退...
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