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硅基氧化铝模板合成ZnO纳米结构及其场发射性能研究

2013年

应用技术

初期阶段

成果简介

本项目为应用基础研究项目，通过合理控制电解液温度、氧化时间，在草酸、磷酸溶液中高效可控制备了硅基AAO模板，满足了光电器件的制备要求。通过使用质量分数为3%的磷酸溶液实现了对AAO模板的精确刻蚀。通过光刻结合二次阳极氧化技术，在硅基上制备了图案化AAO模板，这为硅基AAO模板走向应用打下了重要基础。通过采用溶胶、凝胶法、CVD技术和电化学沉积技术，在硅基AAO模板内成功合成了ZnO量子点、...

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