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单晶硅拉制炉用热场炭/炭坩埚

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
单晶硅拉制炉用坩埚具有由炭/炭复合材料替换石墨材料的发展趋势。石墨具有脆性大、强度低、热震性能差、使用寿命短、更换频繁、大尺寸产品成型困难等不利因素,因此难以满足晶体硅企业快速发展的要求。炭/炭复合材料具有无可比拟的热结构/功能材料双重特点,耐高温、质量轻、耐烧蚀性好、抗热震性能好、损伤容限高、高温强度高、使用寿命长等突出特点,并具有可设计性的典型特点。因此本项目炭/炭坩埚产品的开发具有重...
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