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重掺CZSI单晶硅

2005年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
该产品是经过大量理论研究和论证后，一改过去传统的掺杂方法，根据合金在高温时所产生的蒸汽压力特点，设计并制造出的尺寸合适的掺杂工龄，可大大提高合金的掺入效率，又可大幅度改善单晶生长环境，重掺磷、重掺砷、重掺锑单晶经国家计量科学研究所检测均达到标准要求，产品性能优越，质量稳定可靠，用该系列硅片生产的外筵片质量稳定，电参数一致性、重复性好，达到国内领先水平。
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