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高纯度磷化铟多晶锭工艺研究与产业化

2012年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
磷化铟化合物半导体的制备,是在高温高压下进行的,因此直接采用高纯铟和高纯红磷,合成制备磷化铟单晶是很困难的,不仅对设备的要求高,设备投入大,产出量低,不适用于工业化生产。因此,目前磷化铟单晶的制备,是磷化铟多晶锭为原料,多采用纵向温度梯度法来制备磷化铟的单晶。高纯度磷化铟多晶锭是制备磷化铟单体的重要材料。
我公司采用高压炉,自行设计了3D机械手,以高纯铟(6N)和高纯红...
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