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半导体产业用直径260mm透明石英管材研制及应用

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　Φ20mm～Φ260mm大规格透明石英玻璃管材，主要用在半导体产业6〃、8〃硅片进行外延、扩杂、烧结及清洗等工艺处理上，是发展半导体产业的关键基础材料和部件。
　　Φ20mm～Φ260mm大规格透明石英玻璃管材生产技术原理为：第一，将高纯度石英原料进行提纯（纯度达到99.99%），13种元素杂质含量＜20ppm；第二，将高纯石英原料投入Φ540mm大直径钨坩锅内熔融；第三，牵引成型...
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