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面向纳米压印的精密定位系统及其关键技术研究

2012年 基础理论
  • 成果简介
项目围绕纳米压印精度定位系统关键技术问题,全面分析了该类机构的机械结构优化设计、误差建模与补偿、动力学特性以及控制测量,主要发现和创新:
①针对全柔性并联构型精密定位平台,构造多目标函数和适当的约束条件,借助灵敏度分析对运动构件的材料、截面形状和质量分布等参数进行迭代修改;
②建立了精密定位系统的正、逆运动学模型;
③以驱动力最小...
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