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光纤级高纯四氯化硅生产技术

2005年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

1.利用国产硅铁为原料，经过高温氯化、精馏、水处理、三次精馏生产的四氯化硅达到了德国Merck公司、美国3M公司、武汉长飞集团光纤级高纯四氯化硅的质量要求，同时技术实施所需设备完全国产化。
2.精馏、吸附（物理除杂）和水处理（化学除杂）的联合纯化方法具有独创性。
3.精馏塔填料选用不锈钢球，与见诸报道的用于四氯化硅纯化的填料完全不同，能有效降低雾气夹...

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