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特种光栅的精确制备及应用技术

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
特种光栅的精确制备技术提出的凹面光栅制备过程中曝光衍射效率实时监测的方法，研究最佳曝光强度，使制备的凹面光栅达到最大衍射效率，应用到光谱仪器中，提高光谱成像的质量。特种光栅的精确制备技术提出的全息凸面光栅光刻光路设计方法是一种在同心三反射镜光学系统的“无”像差环视场上进行光刻的光路，使环上理论像差趋于零，由孔径角的变大带来的像差为最小，从而能制造出光谱像差很小的高质量凸面光栅。本项目还提出...
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