首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

纳米尺度硅基集成电路新器件与新工艺技术及其应用

2011年 应用技术
  • 成果简介
　　该项目在两期“973”计划和国家自然科学基金重点项目等一批国家级项目的支持下，形成三套面向不同IC技术代和不同电路应用的新器件与新工艺技术、一套可靠性评测技术及关键工艺模拟技术，建立了适用于纳米尺度集成电路的器件与工艺集成化技术及基本解决方案，解决了IC产业急需的若干关键技术和IC前瞻技术中的器件和工艺瓶颈问题。项目主要创新和应用成果包括：研发了面向逻辑应用的系列单栅、双栅/多栅新器件与工艺技...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统