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平面环境监测气敏元件

2010年 应用技术
  • 成果简介
　　该系列产品可广泛应用于家庭、工业安全监测、监控等领域，它的问世成功解决了管式元件功耗高，微珠式元件容易断丝的问题，为家庭生活环境检测、工业生产过程监控、环境污染检测等方面的应用提供了更好选择。产品制成投放市场以来，受到了许多用户的欢迎，来了良好的经济效益。另外，采用平面结构后，为半导体平面工艺、MEMS技术在气敏元件制作中应用创造了平台，为半导体气敏元件整体工艺水平的提高创造了条件，可促进其升...
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